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測定痕の対策に...

2020/03/11 : スタッフ

いつもお世話になっております。
半導体製造装置メーカー部品で使用されるシャフトの外周部は高速回転時、軸ブレ抑制のため何箇所かをセンサーで計測されます。その部位にちょっとしたスリキズ、スクラッチキズ、測定痕などがあれば検知してしまうため製造現場、検査工程とも入念な取り扱いが必要です。
特に外周寸法の測定は、マイクロメーターで全数測定していました。それによりマイクロの測定痕が付いてしまわないよう慎重な作業を要していました。
そこでほぼ非接触で測定出来るエアマイクロ測定器を導入しました。
これにより測定技術を要する事なく、誰にでも簡単に測定出来る様になり、測定痕の問題も解消されました。
他に何アイテムかある類似品にも、展開していく方向で進めていきます。